Perfilometro tridimensional sin contacto.

Fabricante: Veeco

Características:
Medición por desplazamiento de fase y escaneo vertical por interferometria de luz.
Objectivos: 10X, 50X;
Stages manual: traslación XY de ± 50.8mm.
Rango de medición vertical: 0.1nm a 1mm.
Resolución vertical: < 1Å Ra.
Repetivilidad:  0.01nm RMS.
Velocidad de escaneo vertical: 7.2µm/sec.
Sampleo espacial Lateral: desde  0.08 hasta 13.1µm dependiendo del objetivo.
Field- of -View 8.24mm to 0.05mm dependiendo del objetivo.
Reflectivity 1% to 100%