Fabricante: Horiba Scientific, Ltd.

Características:
Elipsometro Espectrografico.
Rango espectral: 440-1000 nm
Tamaños de Spot: 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm.
Detección: CCD – Resolution: 2nm.
Stage: chucks por vacío, altura 40 mm.
Visualizacion: cámara CCD.
Goniometro: Fijo at 70°.
Precisión:  100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
Repetibilidad:  NIST 15nm ± 0.2 Å