Somos un grupo interdisciplinario especializado en nanotecnología y procesos de microfabricación. Realizamos la operación y mantenimiento de una Sala Limpia clase 1000/10.000, que cuenta con el equipamiento necesario para realizar:

-Fabricación de fotomáscaras de alta resolución
-Litografía óptica directa y por transferencia de alta resolución
-Caracterización dimensional
-Procesos de ataque por vía húmeda
-Procesos de ataque por vía seca (RIE, DRIE)
-Procesos de depósito físico (PVD) y químico (CVD)
-Procesos de backend (dicing, encapsulado, hibridación, etc).

Director de departamento: Juan Bonaparte
Jefes de división: Guido Berlin y Andres Di Donato
Contacto: dmnt@cnea.gov.ar